عرضه دستگاهی برای فراوری حسگر ایربگ خودروها - مجله هاستفا

به گزارش خبرنگاران، رضا عسگری مقدم، مجری این طرح لیتوگرافی و میکرو الکترومکانیک را از زمینه های فراوریی این شرکت دانش بنیان نام برد و گفت: ادوات میکرو الکترومکانیک کاربردهای قابل توجهی در صنایع مختلف دارد به گونه ای که در این شرکت تجهیزات و دستگاه هایی ساخته می گردد که از طریق آن امکان ساخت انواع سنسور خودرو از جمله سنسور ایربگ برای فراوری کننده نهایی فراهم می گردد.

وی فراوریدستگاه لیتوگرافی رومیزی را از دستاوردهای این شرکت دانست و اظهار کرد: این دستگاه قابلیت لیتوگرافی ماسک با ابعاد متفاوت، کپی کردن طرح یا الگوی موجود در ماسک با دقت بسیار بالا را دارد و دستگاه قابلیت لیتوگرافی ماسک با ابعاد متفاوت از 0.5 تا 4 اینچ را دارد. علاوه بر آن در این دستگاه از اشعه فرابنفش (UV) برای نوردهی استفاده شده است.

دستگاه تطبیق ماسک دو طرفه از دیگر دستاوردهای این شرکت است. از این دستگاه برای لیتوگرافی و به ویژه در کاربردهای خاصی که احتیاج است الگوی مورد نظر را با لایه های قبلی تطبیق داد، استفاده می گردد.

در ساخت اغلب ادوات نیمه هادی چندین لایه روی هم الگودهی می ­شوند و در نتیجه چندین مرحله لیتوگرافی باید انجام گردد که الگودهی هر مرحله باید منطبق با الگوی پیشین باشد که دستگاه تطبیق ماسک در این زمینه دقت بالایی دارد.

علاوه بر آن برای ساخت ادوات MEMS لازم است زیر نمونه نیز دیده گردد و تطبیق دوطرفه مورد احتیاج است که این دستگاه از یک سیستم مکانیکی برای جابجایی نمونه با دقت میکرومتری و یک میکروسکوپ نوری برای مشاهده الگوی نمونه و ماسک بهره می برد. این دستگاه قابلیت تطبیق ماسک های اپتیکی از دو طرف را دارا است که برای ساخت ادوات MEMS لازم است.

دقت این دستگاه 2 میکرون اعلام شده است.

دستاوردهای این شرکت قرار است در هفتمین دوره نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ایران ساخت که از 26 تا 29 آذرماه در نمایشگاه بین المللی تهران برگزار می گردد، نمایش داده گردد.